纳米膜论文

CVD金刚石薄膜的压阻和温度特性

一、CVD金刚石膜的压阻及其温度特性（论文文献综述）揣荣岩[1]（2007）在《多晶硅纳米薄膜压阻机理与特性的研究》文中进行了进一步梳理多晶硅薄膜良好的压阻特性使其在MEMS压...